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CT-6高低温探针台

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品牌 普竞思
产地 中国
产品详情

     应用特点     

◆ 最大可用于12英寸以内样品测试

◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

◆ 可升降调节适合加装探针卡

◆ 可搭配多种类型显微镜

◆ 结构模块化设计，可无缝升级

◆ 探针台可根据客户要求定制


     台体规格     

型号CT-6/CT-8/CT-12
样品台尺寸6英寸/8英寸/12英寸
水平旋转可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸
X-Y移动精度10微米/1微米
样品固定真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台U型针座平台，最多可放置6-12个探针座
平台升降可快速升降10mm/可微调升降10mm
温控精度0.01°/0.1°/1°
重量约120kg/150kg
温度范围负80°到正400°
背电极测试样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电级


     光学系统     

显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率16X-200X/20X-4000X
移动行程水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm
光源外置LED环形光源/同轴光源
CCD200万像素/500万像素/1200万像素


       定位器     

X-Y-Z移动行程12mm*12mm*12mm
移动精度10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式磁力吸附/真空吸附
漏电精度磁力吸附/真空吸附
线缆同轴线/三轴线
固定探针弹簧固定/管状固定
接头类型BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径0.2微米1微米2微米5微米10微米20微米
针尖材质钨钢/铍钢


    可选配件     

射频测试配件加热台
探针卡夹具显示器
激光系统转接头
显微镜快速倾仰装置屏蔽箱
光电测试配件镀金卡盘
高压测试配件光学平台