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CS-4小型探针台

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型号 CS系列
产地 中国
产品详情

     应用特点     

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等

◆ 最大可用于6英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动

◆ 可放置于手套箱内使用

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠


     台体规格     

尺寸4英寸/6英寸
水平旋转可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程4英寸*4英寸
X-Y移动精度10微米
样品台Z轴调节可升降10mm
样品固定真空吸附，中心吸附，多圈吸附环
针座平台U型针座平台，最多可放置6个探针座
背电极测试样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电级
外形尺寸400mm长*400mm宽*500mm高
重量约25kg


     光学系统     

显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率16X-200X
移动行程水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm
光源外置LED无极调节亮度环形光源
CCD200万像素/500万像素/1200万像素


     探针座     


X-Y-Z移动行程12mm*12mm*12mm
移动精度10um/7um/0.7um/0.5um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
线缆同轴线/三轴线
漏电精度10pA/100fA/10fA
固定探针弹簧固定/管状固定
接头类型BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径0.2um/1um/2um/5um/10um/20um
针尖材质钨钢/铍钢


     可选附件     

光电测试配件加热台
镀金卡盘显示器
光学平台转接头
屏蔽箱射频测试配件