探针台-高低温真空光电测试系统

我司于2023年5月在吉林某所成功安装CINDBEST CGO-4探针台-高低温真空光电测试系统。该探针台变温范围77K~473K，温度稳定性优于±0.1℃。配三同轴探针臂，漏电流优于100fA。配无油分子泵组，低温下真空度优于5*10-5mbar。主要功能：利用液氦或液氮快速制冷，为光电子材料和器件提供真空和低温测试条件。与Keithley 4200半导体特性仪匹配使用，可用于功能材料、拓扑绝缘体、纳米结构和器件等变温测试，也可以用于半导体器件、MEMS器件、超导器件与封装前在真空下做原位测试以及高低温的老化测试。

一、测试系统结构原理：

系统功能：用于测试半导体器件，材料，发光器件等综合性能表征系统，可测试参数包 括：暗电流、光电流、光电压（光伏器件）、响应速度、光谱响应、变光强的 R~P 响应等。

系统由光源、探针台和光电测试三部分组成，如图 1 所示。根据用户需求，三大部分可以进行定制化开发，以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。

二、配置结构

四、参考用户测试数据：

测试手段：室温测试+真空探针台（液氮开循环）+B1500+500W 氙灯+单色仪

测试手段：

室温测试+真空探针台（液氦闭循环）+4200+超连续白光激光器+声光晶体调制器

ACS Nano（under review）：