产品特点
◆ 5-20毫秒的响应时间
◆ 六个角度方向自由防震
◆ 低频隔振性能优异,安装和使用简单
◆ 紧凑、模块化的多功能设计
◆ 无低频共振并没有空气要求
◆ 主动防振频率1Hz~200Hz,被动防振频率>200Hz
◆ 系统主动检测输入振动并动态消除
◆ 适用范围:光谱仪器、高精度计量工具、隧道显微镜、光刻工具、SEM、TEM、UHV-SPM
防振效果
◆ 隔振性能比&隔振效果图
应用领域
干涉仪 | 轮廓仪 | 光谱仪 | 液体表面张力测量仪 |
扫描探针显微镜 | 扫描隧道显微镜 | 扫描电子显微镜 | 原子力显微镜 |
医疗检测设备 | 核磁共振仪 | 显微镜(SNOM)微纳米硬度检测仪 | 还有更多! |
技术参数
型号 | AVI-600S/LP | AVI-600M/LP | AVI-600XL/LP |
隔振单模块尺寸(mm) | 396x288x112.5 | 720x288x112.5 | 820x318x112.5 |
负载范围(双模块) | 0~1200KG | ||
基本配置 | 两个模块和一个控制器 | ||
主动隔振范围 | 1Hz~200Hz | ||
被动隔振范围 | >200Hz | ||
输入电压 | 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz | ||
功耗 | 通常为27W | ||
系统噪声 | 低于50nG/√Hz | ||
静态柔度 | 垂直约1µm/N,水平约2 µm/N | ||
校正力 | 水平最大 12 N,垂直最大 24 N | ||
传输率 | 超过10Hz<0.017( -35 dB) | ||
性能监控 | 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振 | ||
使用环境 | 仅用于室内 |
结构示意图
◆ AVI-600S/LP 单模块结构示意图
◆ AVI-600M/LP 单模块结构示意图
◆ AVI-600XL/LP 单模块结构示意图
产品选配
◆ 低频传感器LFS-3:搭配LFS-3低频传感器后,AVI系列主动减振设备可以降低到0.7Hz的隔离频率
安装示意图