产品特点
◆ 5-20毫秒的响应时间
◆ 六个角度方向自由防震
◆ 紧凑、模块化的多功能设计
◆ 无低频共振并没有空气要求
◆ 提供优秀的低频段隔振能力
◆ 主动防震1Hz ~200Hz,被动防振频率 >200Hz
◆ 适用范围:干涉仪、大型半导体设备、摩擦学、AFM及各大类型电子显微镜SEM、ATM、TEM
隔振效果
◆ 隔振性能&隔振效果图
隔振效果
干涉仪 | 轮廓仪 | 光谱仪 | 液体表面张力测量仪 |
扫描探针显微镜 | 扫描隧道显微镜 | 扫描电子显微镜 | 原子力显微镜 |
医疗检测设备 | 核磁共振仪 | 显微镜(SNOM)微纳米硬度检测仪 | 还有更多 |
技术参数
型号 | AVL-200S/LP | AVL-200M/LP | AVI-200XL/LP |
单模块尺寸(mm) | 360x120x112.5 | 600x120x112.5 | 820x130x112.5 |
负载范围(双模块) | 0~400KG | ||
基本配置 | 两个模块和一个控制器 | ||
主动隔振范围 | 1Hz~200Hz | ||
被动隔振范围 | >200Hz | ||
垂直方向 | 约1.75 μm / N | ||
水平方向 | 约 3.5μm / N | ||
输入电压 | 90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz | ||
功耗 | 通常为9W | ||
传输率 | 超过10Hz<-35dB | ||
系统噪声 | 低于50nG/√Hz | ||
控制器尺寸 | 48 x 13 x 25 cm | ||
使用环境 | 仅用于室内 | ||
性能监控 | 通过在示波器上显示一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级 |
结构示意图
◆ AVI-200S/LP 单模块结构示意图
◆ AVI-200M/LP 单模块结构示意图
◆ AVI-200XL/LP 单模块结构示意图
产品选配
◆ 低频传感器LFS-3: 搭配LFS-3低频传感器后,AVI系列主动减振设备可以降低到0.7Hz的隔离频率
安装示意图